探針冷熱臺是專為材料變溫電學性能表征而設計的原位測試平臺，用于研究樣品電學參數隨溫度變化的規律。
探針冷熱臺是專為材料變溫電學性能表征而設計的原位測試平臺，用于研究樣品電學參數隨溫度變化的規律。
該設備采用液氮制冷與電阻加熱復合溫控系統，可在-190°C至600°C范圍內對樣品臺實現精確穩定的溫度控制。該系統具備優異的集成兼容性，可輕松與光學顯微鏡及各類電學測量儀表（如源表、萬用表等）聯用，共同構建一套完整的變溫原位電學測試解決方案。
二、儀器主要技術參數：
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型號 |
TCK600-190-4C |
TCK600-190-4 |
TCK600-190-2e |
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溫控模塊 |
冷熱方式 |
液氮致冷，電阻加熱 |
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溫控范圍 |
-190～600℃ * |
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溫度穩定性 |
±0.1℃ * |
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溫度分辨率 |
0.1℃ |
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升降溫速率 |
0~50℃/min（可定點 / 程序段控溫） |
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溫控方式 |
PID |
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溫度傳感器 |
PT100 |
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光學特性 |
光路 |
反射光路 *可升級為透射光路 |
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視窗材質 |
石英玻璃 * |
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視窗尺寸 |
Φ25mm * |
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物鏡工作距離 |
8mm * |
10mm * |
12.5mm * |
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透光孔 |
默認無透光孔 *可升級透光孔 |
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視窗除霜 |
負溫下吹氣除霜 |
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電學特性 |
探針 |
磁吸式探針x4（鎢鋼鍍金），手動定位 * |
固定式探針x4，手動定位 * |
電控位移探針x2 * |
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探針接口 |
BNC接口x4 * |
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樣品臺面電位 |
默認電懸空 *可選電接地 |
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結構特性 |
樣品臺尺寸 |
23×23mm * |
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樣品臺材質 |
銀質 * |
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外形尺寸 |
120×100×30mm * |
160×150×30mm * |
110×170×45mm * |
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樣品腔高度 |
7mm * |
8.5mm * |
10.5mm * |
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XYZ位移行程 |
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±6mm |
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探針位移精度 |
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5nm |
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腔室 |
氣密 *可升級真空 |
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外殼冷卻 |
循環水 |
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基本配置 |
微型探針冷熱臺x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、連接管路若干 |
探針冷熱臺x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、連接管路若干 |
電控探針冷熱臺x1、溫度控制器x1、致冷控制器x1（低溫配置）、液氮罐x1（低溫配置）、溫控軟件x1、循環水系統x1（高溫配置）、連接管路若干 |
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其他配置 |
電腦主機/安裝支架/真空系統/三同軸BNC/循環水系統/定制溫控軟件 |
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新聞資訊